در این گزارش، روشی برای نانوساختارهای سه بعدی آرایه های منظم و با چگالی بالا از نانوساختارهای سیلیکون کریستالی شرح داده شده است. از دو روش نانولیتوگرافی برای ساخت آرایه نانوساختار استفاده شد....